1、1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅， 其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑ （2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。
2、把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。
3、 其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反应温度为300度，该反应是放热的。
【资料图】
4、同时形成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。
5、 （3）第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解:过滤硅粉，冷凝SiНС13,SiC14，而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到大气中。
6、然后分解冷凝物SiНС13,SiC14，净化三氯氢硅（多级精馏）。
7、 （4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
8、 其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。
9、 多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上生长多晶硅，直径可达到150-200毫米。
10、 这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。
11、剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离。
12、这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。
13、气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的成本和该3工艺的竞争力。
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